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產品型號：H-CVD-1200
產品品牌：翰軍
接受定制：是
交貨周期：15個工作日
上架時間： 2017-12-19 18:01:00
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概述：
這款配置的低真空CVD系統集1200℃真空管式爐，3通道氣路系統和真空系統組成，可根據用戶需要設計生產
（有雙溫區、三溫區、多溫區），可預抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統有質子流量控制
器和浮子流量控制器）。真空泵、閥均采用進口設備，性能可靠。控制電路選用模糊PID程控技術，具有控溫
精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點。CVD生長系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷
基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。
主要技術參數：
1200雙溫區加熱爐 |
電壓 |
AC220V 50/60Hz |
功率 |
4.5KW雙溫控 |
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加熱區長 |
220mm，恒溫區長度：100mm |
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最高溫度 |
1150℃ |
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工作溫度 |
≤1100℃ |
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升溫速率： |
≤15℃/min |
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溫控系統 |
PID自動控制晶閘管（可控硅）輸出功率， 30段可編程控制器 |
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恒溫精度 |
±1℃ |
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石英管 |
φ 25/50/60/80*1400mm |
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三路質量流量控制系統
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最大電壓 |
185~245V/50Hz |
最大輸出功率： |
18W |
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流量計標準量程： |
50，100 ，200，500SCCM；（非特殊指定以氮氣標定，量程可選定） |
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工作溫度： |
5~45 oC |
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工作壓差： |
0.1～0.5 MPa |
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最大壓力： |
3Mpa |
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準確度： |
±1.5% FS |
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低真空系統
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1.采用雙極旋片真空泵，真空度可達5×10-1 Torr不銹鋼充油真空壓力表，良好的抗震性 2.安裝過濾器 |
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內置測溫系統 |
測溫元件可從加熱區邊緣延伸至溫區中心法蘭密封，保證爐管的密封性測溫元件： N型熱電偶 |
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法蘭及支撐 |
304不銹鋼快速水冷法蘭，長期水冷無腐蝕一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個密封硅膠圈等 |
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可選配件 |
混氣系統,中、高真空系統，各種剛玉坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀，冷卻水循環機等。 |
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